高精度程控勻膠機

高精度程控勻膠機型號：SYSC-100A 
一.    產品應用 
SYSC-100A高精度程控勻膠機（Spin Coater），又稱為旋轉涂膜儀，是一代旋轉涂膜設備。具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。 
二.    產品特點 
1.     旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高可靠性。 
2.     優異的旋轉加速性能，Z大旋轉加速度可達40000rpm/s（有負載的真實加速度）。 
3.     兩項安全互鎖功能： 
 (1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能，確保腔體關閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造**身傷害； 
 (2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。 
4.     機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。 
5.     勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料，經CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。 
6.     旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料，經CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。 
7.     勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程Z多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調。可儲存50組工藝程序，隨時調用。 
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠進程； 
9.     真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作。 
10.   旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間”Z多為99s，確保基片牢固吸附于旋轉臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”Z多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。 
11.   標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。 
三.    技術參數 
產品型號SYSC-100A 
可鍍膜基片尺寸Ø10～100mm 
旋轉速度10～8000rpm 
轉速分辨率1rpm 
速度精度＜0.02% 
旋涂加速度*0～40000rpm/s 
每段加速時間999.9s 
每段旋涂時間9999.9s 
時間分辨率0.1s 
預吸片時間99s 
解吸片時間99s 

**大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤Ø50mm基片)的真實加速度.